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Wafers SOI de alta velocidade e baixa potência com isolador de silício para CIs e MEMSWafers SOI, silício sobre isolante onde uma fina camada de silício fica em um substrato isolante, permitem operação de alta velocidade e baixo consumo de energia, reduzindo a capacitância, a corrente de fuga e melhorando as velocidades de comutação, amplamente adotados em microeletrônica e emergentes em fotônica e MEMS.