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Suporte de transporte de wafer SiC
Ferramenta de forno de difusão de suporte de wafer SiC para semicondutores e células solares Ferramenta de forno de difusão de suporte de wafer SiC para semicondutores e células solares

Ferramenta de forno de difusão de suporte de wafer SiC para semicondutores e células solares

O SiC Boat Bracket é crucial para transportar wafers em fornos de difusão para revestimento na produção de semicondutores e fotovoltaicos.
  • item número. :

    CS-SIC-T1001
  • Material : SiC

  • descrição

Propriedades do Carbeto de Silício Suporte Transportador de Wafer



  1. Resiliência a altas temperaturas: Nosso suporte para barco transportador de wafer SiC possui resistência a altas temperaturas de até 1600°C com resistência superior ao choque térmico, garantindo uma longa vida útil de mais de 5 anos.

  2. Sistema de carregamento otimizado: Apresentando construção leve com alta resistência à flexão e capacidade de carga em altas temperaturas, minimiza o tamanho e o peso do sistema de carregamento, aumentando a produção de lote único.

  3. Estabilidade térmica e compatibilidade com LPCVD: Com um coeficiente de expansão térmica mínimo semelhante aos revestimentos LPCVD, ele estende significativamente os ciclos de manutenção e limpeza quando usado em aplicações LPCVD.


Aplicações de Carbeto de Silício Suporte Transportador de Wafer


Tapoiado por líderes em fabricação de células fotovoltaicas e produção de wafers semicondutores, nosso suporte para barco transportador de wafer SiC se destaca no transporte seguro de wafers solares de silício e wafers semicondutores em fornos de difusão em temperaturas que variam de 1000-1300°C.


Design personalizado para suporte de suporte de wafer SiC

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